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article · 2016

Die Shift Measurement of 300mm Large Diameter Wafer

오늘날 반도체 분야의 산업에서는 데이터 처리 속도가 빠르고 대용량 데이터 처리 수행 능력을 갖는 반도체 기술 개발이 활발히 진행 되고 있다. 반도체 제작에서 패키징 공정은 칩을 외부 환경으로부터 보호 하고 접속 단자 간 전력을 공급하기 위해 진행하는 공정이다. 근래에는 생산성이 높...

0 citationsDOI: https://doi.org/10.5762/kais.2016.17.6.708Open accessPDF reported by metadata
Die Shift Measurement of 300mm Large Diameter Wafer