article · 1997
Neue Ansätze für Chemo‐ und Biosensoren in Siliziumtechnik
Abstract Isolatorschichten aus Siliziumnitrid, Aluminiumoxid und Tantalpentoxid verhalten sich in Kontakt mit wäßrigen Elektrolyten pH‐sensitiv. In Abhängigk...
4 citationsDOI: https://doi.org/10.1002/phbl.19970530506Open accessPDF reported by metadataFull text reported by metadata